高功率 FG 5002S/5005S 发生器:工艺追溯监控、诊断、维护功能带来的最高设备可利用率
5000 系列发生器结合了最新半导体技术和传感器技术,性能优异,十分便于使用。它可对等离子放电室内的压力,电流、电压和频率等进行集成式模拟监控,并可对等离子体发出的光进行分析,从而获得最高程度的工艺可靠性。
设备采用用户界面友好的触摸屏操控,和上下游设备进行控制联动所需的通信模块集成在内。
S 系列:全面的集成工艺监控功能
典型应用
- 集成到成套生产系统中
- 可在苛刻的运行环境中多班制高负荷运行
- 需要集成工艺监控及全面系统通讯功能的工业应用
- 支持机器人系统的集成
FG5002/5005 等离子发生器的主要技术特点:
- 数字高频等离子体发生器,采用集成的微处理控制器进行系统和功率的控制
- 通过触摸屏控制面板来显示状态和故障信息,并实现符合人机工程学的操作
- 集成维护手册
- 功率输出: 2kVA (FG5002) 驱动4把等离子喷枪或5kVA (FG5005)驱动8把等离子喷枪
- 电源电压 3x 400V
- 使用环境温度: 0-40 °C
- 发生器电气柜的易维护设计
- 全面的工艺监控功能,实现最高程度的工艺可靠性和可重复再现性
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